发明名称 一种场发射阴极的制备方法
摘要 本发明涉及一种场发射阴极的制备方法,该方法包括下列步骤:提供一基板,在该基板上沉积一金属层;对金属层表面进行氧化处理,形成一具有多个凹槽的金属氧化物层;去除多个凹槽底部的金属氧化物;通过电泳沉积方式在凹槽底部沉积碳纳米管。
申请公布号 CN1988101A 申请公布日期 2007.06.27
申请号 CN200510121250.1 申请日期 2005.12.23
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 董才士
分类号 H01J9/02(2006.01) 主分类号 H01J9/02(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种场发射阴极的制备方法,包括下列步骤:提供一基板,在该基板上沉积一金属层;对金属层表面进行氧化处理,形成一具有多个凹槽的金属氧化物层;去除多个凹槽底部的金属氧化物;通过电泳沉积方式在凹槽底部沉积碳纳米管。
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