发明名称 塑胶件表面真空镀膜工艺
摘要 本发明涉及一种塑胶件表面真空镀膜工艺,其工艺步骤为:将待镀塑胶件表面进行超声波清洗,然后在塑胶件表面施加一层厚度为5~20μm的底面涂层,再经紫外光固化,最后以锆金属为靶材在氩气流量140Sccm、镀膜功率2~9Kw、镀膜时间3~5秒、氮气流量大于等于50Sccm的条件下进行真空溅镀,得到厚度为10~70nm的反应性溅镀氮化锆薄膜。通过本发明的工艺在塑胶件表面镀覆的膜层具有半镜面光泽质感并具有良好的绝缘效果。
申请公布号 CN1986869A 申请公布日期 2007.06.27
申请号 CN200510120983.3 申请日期 2005.12.22
申请人 佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司 发明人 林壮坤
分类号 C23C14/02(2006.01);C23C14/12(2006.01);C23C14/54(2006.01);B08B3/12(2006.01);B05B3/00(2006.01);B05B5/00(2006.01);B05D3/06(2006.01) 主分类号 C23C14/02(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种塑胶件表面真空镀膜工艺,通过该工艺可以在塑胶件表面镀覆一层具有半镜面光泽质感效果的绝缘膜,其特征在于,包含以下工艺步骤:1)取塑胶件对其表面进行超声波清洗;2)在该塑胶件表面施加一层厚度为5~20μm的底面涂层,并经紫外光固化;3)以锆金属为靶材对塑胶件进行真空溅镀,得到厚度为10~70nm的反应性溅镀氮化锆薄膜;其中的溅镀工艺条件为:氩气流量140Sccm,镀膜功率2~9Kw,镀膜时间3~5秒,氮气流量大于等于50Sccm。
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