发明名称 |
陶瓷互连基板上的厚膜电容器 |
摘要 |
在陶瓷互连基板上形成的厚膜电容器,具有高电容密度和其他需要的电学和物理性能。电容器电介质在高温下进行烧制。 |
申请公布号 |
CN1988085A |
申请公布日期 |
2007.06.27 |
申请号 |
CN200610171191.3 |
申请日期 |
2006.12.20 |
申请人 |
E.I·内穆尔杜邦公司 |
发明人 |
D·I·小艾梅;W·J·博兰 |
分类号 |
H01G4/33(2006.01);H01G4/38(2006.01);H01G4/008(2006.01);H01G13/00(2006.01);H01L27/01(2006.01);H01L21/70(2006.01);H05K3/30(2006.01);H05K1/16(2006.01) |
主分类号 |
H01G4/33(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
项丹 |
主权项 |
1.一种在陶瓷互连基板上形成一个或多个厚膜电容器的方法,它包括:提供玻璃-陶瓷或陶瓷互连基板;在上述基板上形成第一导电层,其中,形成所述第一导电层的步骤包括形成所述第一导电层并在至少约800℃的温度烧制;在所述第一导电层上形成电容器电介质;在所述电介质上形成第二导电层,并将所述电容器电介质与第二导电层一同烧制,使得所述第一导电层、电容器电介质和第二导电层形成电容器。 |
地址 |
美国特拉华州 |