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发明名称 MULTI-SINGLE WAFER PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1800329(A2) 申请公布日期 2007.06.27
申请号 EP20050797654 申请日期 2005.09.13
申请人 GENUS, INC. 发明人 PUCHACZ, JUREK;RAMANATHAN, SASANGAN;REYES, MANOLITO, Q.;SEIDEL, THOMAS, E.
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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