表面波声学纳米流体驱动器及其制作方法

摘要

一种表面波声学纳米流体驱动器器件及其制作方法，属于驱动纳米液滴技术的驱动器领域。由五个部分组成，表面波声学驱动器固定在衬底上，纳米流体通道位于表面波声学驱动器表面波发射方向，加热器位于纳米流体通道下部衬底中。制备步骤是：制备SOI衬底，衬底为三层结构，由表层薄膜硅、中间隔离层二氧化硅和底层体硅基底组成，用绑定工艺将三层连接为一体；用微机械体加工技术在衬底上制备表面波声学驱动器的栅状电极；用微机械体加工技术在衬底上制备加热器的加热电阻；在衬底上配备表面波声学驱动器控制电极和加热电极。本器件体积小、能耗低、易于集成、稳定性高、易于产业化的特点，能够精确控制微流体的温度、流速、流量和流动方向。

主权项

1、一种表面波声学纳米流体驱动器，它由衬底、表面波声学驱动器、控制电极、纳米流体通道、加热器五个部分组成，其特征在于，由控制电极控制的表面波声学驱动器固定在衬底上，纳米流体通道位于表面波声学驱动器表面波发射方向，垂直于表面波声学驱动器栅装电极，加热器由加热电极和加热电阻构成位于纳米流体通道下部衬底中。