| 发明名称 | 液态化学品的加热方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种液态化学品的加热方法，所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输，所述加热方法通过液体传热介质对所述液态化学品进行加热。本发明还提供了一种液态化学品的加热装置，包括：加热器，用于加热液体传热介质；换热器，用于将所述液体传热介质的热量传递至所述液态化学品；所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输。本发明尤其适用于常温下粘度大，而随着温度升高粘度迅速下降的液态化学品，例如铜腐蚀液ST250。本发明可以满足大流量加热的需求；可以实现精确加热，避免液态化学品温度超出范围，从而提高液态化学品的使用寿命；避免电加热器件直接接触易燃易爆的溶剂类化学品，从而大大提高加热过程的安全性。 | ||
| 申请公布号 | CN1987285A | 申请公布日期 | 2007.06.27 |
| 申请号 | CN200510111677.3 | 申请日期 | 2005.12.19 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 叶大军;李汉忠 |
| 分类号 | F24H1/14(2006.01);F17D1/18(2006.01) | 主分类号 | F24H1/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 1、一种液态化学品的加热方法，所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输，其特征在于，通过液体传热介质对所述液态化学品进行加热。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||