发明名称 |
一种清除废硅片杂质的喷砂设备 |
摘要 |
本实用新型涉及一种清除废硅片杂质的喷砂设备,包括喷砂室、设于喷砂室内由电机驱动的传动喷枪架和砂料收集装置、传送带,传送带由电机驱动,并穿过喷砂室,传送带上搁置若干网孔料盘,喷砂室内的传送带下方处设真空抽气装置,喷枪架传动方向与传送带运动方向垂直。本实用新型结构简单,废硅片受真空抽气紧贴网孔料盘运动,经喷枪喷砂清理,使硅片表层的杂质予以清除,经喷砂处理后的废硅片,可重复利用,为解决硅料资源紧缺作出了贡献。 |
申请公布号 |
CN2915374Y |
申请公布日期 |
2007.06.27 |
申请号 |
CN200620103374.7 |
申请日期 |
2006.05.10 |
申请人 |
浙江昱辉阳光能源有限公司 |
发明人 |
吴云才 |
分类号 |
B24C3/12(2006.01);B24C3/02(2006.01);B24C1/04(2006.01);B24C9/00(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
B24C3/12(2006.01) |
代理机构 |
浙江杭州金通专利事务所有限公司 |
代理人 |
徐关寿 |
主权项 |
1、一种清除废硅片杂质的喷砂设备,包括喷砂室、设于喷砂室内由电机驱动的传动喷枪架和砂料收集装置、传送带,传送带由电机驱动,并穿过喷砂室,其特征在于:传送带上搁置若干网孔料盘,喷砂室内的传送带下方处设真空抽气装置,喷枪架传动方向与传送带运动方向垂直。 |
地址 |
314117浙江省嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号 |