发明名称 MICROSYSTEM AND METHOD FOR POSITIONING A SECOND ELEMENT WITH RESPECT TO A FIRST ELEMENT IN A MICROSYSTEM
摘要
申请公布号 EP1799612(A2) 申请公布日期 2007.06.27
申请号 EP20050791710 申请日期 2005.09.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DESPONT, MICHEL;DUERIG, URS, T.;GOTSMANN, BERND, W.
分类号 B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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