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发明名称 HOMOGENEOUS COPPER INTERCONNECTS FOR BEOL
摘要
申请公布号 EP1800335(A1) 申请公布日期 2007.06.27
申请号 EP20050797431 申请日期 2005.09.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 PETRARCA, KEVIN, S.;KRISHNAN, MAHADEVAIYER;LOFARO, MICHAEL;RODBELL, KENNETH, P.
分类号 H01L21/31;H01L21/44;H01L21/469;H01L21/4763 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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