发明名称 |
基板检测设备及玻璃基板检测设备 |
摘要 |
一种基板检测设备及玻璃基板检测设备,其与输送装置配合使用。输送装置具有输送面并用于输送至少一个基板。基板检测设备包含支撑座、抬升机构、光盒及驱动机构。抬升机构设置在支撑座上。抬升机构具有多根抬升支架,每一抬升支架位于输送面下方且与输送面平行设置。光盒应与抬升机构相对应设置,用于检视玻璃基板。驱动机构设置于支撑座中,并与该抬升机构连接。 |
申请公布号 |
CN1987436A |
申请公布日期 |
2007.06.27 |
申请号 |
CN200610172429.4 |
申请日期 |
2006.12.27 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
魏仲立;郭永仁 |
分类号 |
G01N21/896(2006.01);G01N21/89(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
G01N21/896(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
潘培坤 |
主权项 |
1.一种基板检测设备,与一输送装置配合使用,该输送装置具有一输送面并用于输送至少一个基板,该检测设备包含:一支撑座;一抬升机构,设置于该支撑座上,该抬升机构具有多根抬升支架,每一所述抬升支架位于该输送面下方且与该输送面平行设置;以及一驱动机构,设置于该支撑座中,并与该抬升机构连接。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |