发明名称 基板检测设备及玻璃基板检测设备
摘要 一种基板检测设备及玻璃基板检测设备,其与输送装置配合使用。输送装置具有输送面并用于输送至少一个基板。基板检测设备包含支撑座、抬升机构、光盒及驱动机构。抬升机构设置在支撑座上。抬升机构具有多根抬升支架,每一抬升支架位于输送面下方且与输送面平行设置。光盒应与抬升机构相对应设置,用于检视玻璃基板。驱动机构设置于支撑座中,并与该抬升机构连接。
申请公布号 CN1987436A 申请公布日期 2007.06.27
申请号 CN200610172429.4 申请日期 2006.12.27
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 魏仲立;郭永仁
分类号 G01N21/896(2006.01);G01N21/89(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 G01N21/896(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 潘培坤
主权项 1.一种基板检测设备,与一输送装置配合使用,该输送装置具有一输送面并用于输送至少一个基板,该检测设备包含:一支撑座;一抬升机构,设置于该支撑座上,该抬升机构具有多根抬升支架,每一所述抬升支架位于该输送面下方且与该输送面平行设置;以及一驱动机构,设置于该支撑座中,并与该抬升机构连接。
地址 中国台湾新竹市