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发明名称 ATOMIC DEPOSITION LAYER METHODS
摘要
申请公布号 EP1532292(B1) 申请公布日期 2007.06.27
申请号 EP20030771691 申请日期 2003.07.21
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 CASTROVILLO, PAUL, J.;BASCERI, CEM;DERDERIAN, GARO, J.;SANDHU, GURTEJ, S.
分类号 C23C16/34;C23C16/44;C23C14/06;C23C14/08;C23C16/40;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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