| 发明名称 | 静电吸盘 | ||
| 摘要 | 本发明是利用库仑力的静电吸盘，其提供在维持吸附力的状态下，减少附着在基板上的颗粒的静电吸盘。静电吸盘(10)具备：基体(11)；形成于该基体(11)上并产生库仑力的电极(12)；在对基板(1)进行支撑的一侧的第1主面上具有以突起上面支撑该基板(1)的多个突起(13a)的电介质层(13)，突起(13a)之间的间隔大致均等地设置，突起上面的表面粗糙度(Ra)在0.5μm以下，突起(13a)的高度为5～20μm，使第1主面每单位面积100cm<SUP>2</SUP>的所述突起(13a)的数目为A(个/100cm<SUP>2</SUP>)，所述突起(13a)的高度为B(μm)时，满足数式A<SUP>1/2</SUP>×B<SUP>2</SUP>＞200的关系。 | ||
| 申请公布号 | CN1988128A | 申请公布日期 | 2007.06.27 |
| 申请号 | CN200610169238.2 | 申请日期 | 2006.12.21 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 森冈育久;鹤田英芳;川尻哲也;鸟越猛 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张敬强 |
| 主权项 | 1.一种静电吸盘，其特征在于，具备：基体；形成于该基体上并产生库仑力的电极；以及在对基板进行支撑的一侧的第1主面上具有以突起上面支撑该基板的多个突起的电介质层，所述突起之间的间隔大致均等地设置，所述突起上面的表面粗糙度(Ra)在0.5μm以下，所述突起的高度为5～20μm，使所述第1主面每单位面积100cm2的所述突起的数目为A(个/100cm2)，所述突起的高度为B(μm)时，满足下面数式A1/2×B2＞200的关系。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||