| 发明名称 |
Water soluble negative tone photoresist |
| 摘要 |
In accordance with the objectives of the invention a new water soluble negative photoresist is provided for packing-and-unpacking (PAU) processing steps.
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| 申请公布号 |
US7235348(B2) |
申请公布日期 |
2007.06.26 |
| 申请号 |
US20030443359 |
申请日期 |
2003.05.22 |
| 申请人 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.;AZ ELECTRONIC MATERIALS JAPAN |
发明人 |
HO BANG-CHEIN;CHEN JIAN-HONG;TAKANO YUSUKE;LU PING-HUNG |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/26;G03F1/14;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/095;G03F7/20;G03F7/40;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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