Method And Apparatus For An Improved Optical Window Deposition Shield In A Plasma Processing System,申请号KR20057005449-传众专利搜索

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发明名称	Method And Apparatus For An Improved Optical Window Deposition Shield In A Plasma Processing System
摘要
申请公布号	KR100732260(B1)	申请公布日期	2007.06.25
申请号	KR20057005449	申请日期	2005.03.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065;H01J37/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L51/00	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
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