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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100731847(B1) 申请公布日期 2007.06.25
申请号 KR20000022424 申请日期 2000.04.27
申请人 发明人
分类号 G03F7/30;H01L21/68;B65G49/06;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/677 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
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