发明名称 银合金蚀刻液
摘要 一种银合金用蚀刻液,包含:10至60重量份之磷酸;1至60重量份之硝酸;0至70重量份之醋酸;以及至90重量份之水。本蚀刻液组成物可视需要地更包含铵化合物以获致较佳之蚀刻速率之控制。
申请公布号 TWI282813 申请公布日期 2007.06.21
申请号 TW090124957 申请日期 2001.10.09
申请人 铼宝科技股份有限公司 发明人 李旭峰;姚信字;邹忠哲;施明忠;叶添昇;吴朝钦
分类号 C09K13/00(2006.01) 主分类号 C09K13/00(2006.01)
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;苏建太 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项 1.一种银合金用蚀刻液,系包含: (A)10至60重量份之磷酸; (B)1至60重量份之硝酸; (C)0至70重量份之醋酸;以及 (D)0至90重量份之水。 2.如专利申请范围第1项所述之蚀刻液,其包含20至 50重量份之磷酸铵化物;40至70重量份之醋酸;以及1 至20重量份之硝酸。 3.如专利申请范围第1项所述之蚀刻液,其更包含1 至10重量份之铵化合物。 4.如专利申请范围第3项所述之蚀刻液,其中该铵化 合物为硫酸铵,醋酸铵或硝酸铵。 5.一种银合金用蚀刻液,系包含: (A)5至40重量份之磷酸; (B)5至40重量份之醋酸或硝酸; (C)1至10重量份之铵化合物;以及 (D)1至90重量份之水。 6.如专利申请范围第5项所述之蚀刻液,其中该铵化 合物为硫酸铵,醋酸铵或硝酸铵。 7.一种银合金用蚀刻液,系包含: (A)1至20重量份之硝酸;以及 (B)1至10重量份之铵化合物。 8.如专利申请范围第7项所述之蚀刻液,其中该铵化 合物为硝酸铵铈。 9.一种银合金之蚀刻方法,包含以下之步骤: (A)提供一具银合金表面之基板;以及 (B)将一银合金蚀刻液涂覆于该基板之银合金表面 或将该具银合金之基板浸渍于该银合金蚀刻液; 其中该银合金蚀刻液包含:10至60重量份之磷酸; 1至60重量份之硝酸;0至70重量份之醋酸;以及0至90 重量份之水。 10.如专利申请范围第9项所述之方法,其中该蚀刻 液更包含1至10重量份之铵化合物。 11.如专利申请范围第9项所述之蚀刻方法,其中该 铵化合物为硫酸铵,醋酸铵或硝酸铵。 12.一种银合金之蚀刻方法,包含以下之步骤: (A)提供一具银合金表面之基板;以及 (B)将一银合金蚀刻液涂覆于该基板之银合金表面 或将该具银合金之基板浸渍于该银合金蚀刻液; 其中该银合金蚀刻液包含:5至40重量份之磷酸;5至 40重量份之醋酸或硝酸;1至10重量份之铵化合物;以 及1至90重量份之水。 13.如专利申请范围第12项所述之蚀刻方法,其中该 铵化物为硫酸铵,醋酸铵或硝酸铵。
地址 新竹县竹北市仁义路65号