发明名称 敏辐射线性树脂组成物、层间绝缘膜及微透镜、以及此等之制造方法
摘要 一种敏辐射线性树脂组成物,其特征为含有,[A]:(a1)不饱和羧酸及/或不饱和羧酸酐,(a2)含环氧基不饱和化合物,(a3)含有选自四氢喃骨架,喃骨架,四氢喃骨架,喃骨架,及下述式(1)〔式中,R表示氢或甲基,n为2~ 10之整数〕所示骨架所成群之至少一个骨架之不饱和化合物,及(a4)(a1),(a2)及(a3)以外之不饱和化合物之共聚物,以及[B] 1,2-苯二叠氮化合物者。使用其所形成之层间绝缘膜及微透镜。此敏辐射线性组成物,具有高敏辐射线感度,即使在显影步骤中超过最适显影时间尚具有可形成良好的图型形状之显影界限,而可容易形成密接性优异之图型状薄膜。
申请公布号 TWI282905 申请公布日期 2007.06.21
申请号 TW093123007 申请日期 2004.07.30
申请人 JSR股份有限公司 发明人 高本英司;滨田谦一;蓑轮贵树;佐野公康;西川通则
分类号 G03F7/032(2006.01) 主分类号 G03F7/032(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种敏辐射线性树脂组成物,其特征为含有, [A]:(a1)不饱和羧酸及/或不饱和羧酸酐所衍生构成 单元5~40重量%,(a2)选自环氧丙基甲基丙烯酸酯、甲 基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、邻乙烯基基环氧丙基 醚、间乙烯基基环氧丙基醚、对乙烯基基环 氧丙基醚及3,4-环氧基环己基甲基丙烯酸酯所成群 之至少一种含环氧基不饱和化合物所衍生构成单 元10~70重量%,(a3)选自四氢糠基(甲基)丙烯酸酯、聚 乙二醇(n=2~10)单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四 氢喃-3-基酯、1-(四氢喃-2-氧基)-丁基-3-烯-2- 酮及糠基(甲基)丙烯酸酯 所成群之至少一种不饱和化合物所衍生构成单元5 ~50重量%及(a4)选自(甲基)丙烯酸烷酯、(甲基)丙烯 酸环状烷酯、具有羟基之(甲基)丙烯酸酯、(甲基) 丙烯酸芳基酯、不饱和二羧酸二酯、双环不饱和 化合物、顺丁烯二醯亚胺化合物、不饱和芳香族 化合物、共轭二烯所成群之至少一种不饱和化合 物所衍生构成单元5~70重量%所成共聚物,以及 [B]选自三羟苯并二苯甲酮与1,2-二叠氮磺酸卤 化物之缩合物、四羟苯并二苯甲酮与1,2-二叠 氮磺酸卤化物之缩合物、五羟苯并二苯甲酮与1,2- 二叠氮磺酸卤化物之缩合物、六羟苯并二苯 甲酮与1,2-二叠氮磺酸卤化物之缩合物及(聚 羟苯基)链烷与1,2-二叠氮磺酸卤化物之缩合 物所成群之至少一种1,2-苯酝二叠氮化合物,相对 于共聚物[a]100重量份,为含有5~100重量份者。 2.如申请专利范围第1项之敏辐射线性树脂组成物, 其为层间绝缘膜形成用。 3.如申请专利范围第1项之敏辐射线性树脂组成物, 其为微透镜形成用。 图式简单说明: 第1图系,微透镜之剖面形状之模式图。
地址 日本