| 主权项 |
1.一种藉由对一基板进行电子束扫描来测试该基 板之基板测试装置,包括: 一测试单元,其用来藉由该电子束之扫描获取该基 板之一测试结果; 一对准标示检测单元,用于光学地检测位于该基板 上之一对准标示; 一基板位置计算单元,用于根据该对准标示之一位 置计算在该基板测试装置内之一基板位置;以及 一位置对准单元,用于将测试结果之一位置与该计 算出之基板位置对准,该位置对准单元将该测试结 果指定到该基板位置上。 2.根据申请专利范围第1项之基板测试装置,其中该 位置对准单元将藉由该测试结果之一缺陷测试获 得之一缺陷结果与该基板位置对准。 3.根据申请专利范围第1或2项之基板测试装置,其 中该对准标示检测单元包括用来在该基板上拾取 该对准标示之一图像之一光学显微镜或者一CCD摄 影机。 4.一种藉由对位于一基板测试装置内之一基板进 行电子束扫描来测试该基板之基板测试方法,包括 : 藉由该电子束之扫描获取该基板之一测试结果; 光学地检测位于该基板上之一对准标示; 根据该对准标示之一位置计算在该基板测试装置 内之一基板位置; 将测试结果之一位置与该计算出之基板位置对准; 以及 将该测试结果指定到该基板位置上。 5.根据申请专利范围第4项之基板测试方法,其中该 位置对准步骤包括将藉由该测试结果之一缺陷测 试获得之一缺陷结果与该基板位置对准。 图式简单说明: 图1为用于解释根据本发明之一基板测试装置之概 略结构之示意图; 图2A和2B为用于解释根据本发明之该基板测试装置 之操作实例之流程图; 图3A和3B为用于解释基板和该扫描之一移动状态之 示意操作图; 图4A-4C为用于解释基板和该扫描之一移动状态之 示意操作图; 图5A-5D为用于解释根据该对准标示位置计算该基 板位置之一方式之示意图;以及 图6A和6B为用于解释将该测试结果指定到该基板位 置上之一方式之示意图。 |
