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经营范围
发明名称
Corona etching
摘要
Provided is a method for removing organic residue from an electronic device substrate by exposure to a corona discharge.
申请公布号
US2007138405(A1)
申请公布日期
2007.06.21
申请号
US20050303399
申请日期
2005.12.16
申请人
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
发明人
SHIRCK JAMES R.;LU DAVID D.;KIRK SETH M.;NESMITH GENE B.
分类号
H01J27/00
主分类号
H01J27/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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