发明名称 |
Verfahren zum Verarbeiten eines Substrats aus einem ferroelektrischen einkristallinen Material |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69934036(T2) |
申请公布日期 |
2007.06.21 |
申请号 |
DE19996034036T |
申请日期 |
1999.02.17 |
申请人 |
NGK INSULATORS LTD. |
发明人 |
IWAI, MAKOTO;KAWAGUCHI, TATSUO;IMAEDA, MINORU |
分类号 |
G02B6/13;G02B6/136;C30B29/30;G02B6/134;G02F1/355;G02F1/37;G02F1/377;H01B3/00 |
主分类号 |
G02B6/13 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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