发明名称 Verfahren zum Verarbeiten eines Substrats aus einem ferroelektrischen einkristallinen Material
摘要
申请公布号 DE69934036(T2) 申请公布日期 2007.06.21
申请号 DE19996034036T 申请日期 1999.02.17
申请人 NGK INSULATORS LTD. 发明人 IWAI, MAKOTO;KAWAGUCHI, TATSUO;IMAEDA, MINORU
分类号 G02B6/13;G02B6/136;C30B29/30;G02B6/134;G02F1/355;G02F1/37;G02F1/377;H01B3/00 主分类号 G02B6/13
代理机构 代理人
主权项
地址