| 发明名称 |
ABSCHEIDUNGSVERFAHREN VON EINER OXYDSCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT UND DIESES VERWENDENDE PHOTOVOLTAISCHE ZELLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60215523(T2) |
申请公布日期 |
2007.06.21 |
| 申请号 |
DE20026015523T |
申请日期 |
2002.08.23 |
| 申请人 |
UNIVERSITE DE NEUCHATEL |
发明人 |
KROLL, ULRICH;MEIER, JOHANNES |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L31/18;C23C16/455;H01B13/00;H01L21/44;H01L23/48;H01L23/52;H01L29/40;H01L31/04;H01L31/075;H01M14/00 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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