发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE10158706(B4) 申请公布日期 2007.06.21
申请号 DE20011058706 申请日期 2001.11.29
申请人 ELPIDA MEMORY INC. 发明人 NISSA, MITSUO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/108 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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