| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR WAFERVORBEREITUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60128338(D1) |
申请公布日期 |
2007.06.21 |
| 申请号 |
DE2001628338 |
申请日期 |
2001.03.22 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
FROST, DAVID T.;JONES, OLIVER DAVID |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/677;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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