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发明名称 Resistzusammensetzung und Musterübertragungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60034754(D1) 申请公布日期 2007.06.21
申请号 DE2000634754 申请日期 2000.10.25
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 NISHI, TSUNEHIRO;WATANABE, TAKERU;KINSHO, TAKESHI;HASEGAWA, KOJI;KOBAYASHI, TOMOHIRO;HATAKEYAMA, JUN
分类号 G03F7/039;H01L21/027;C08F32/08;C08G61/08;G03F7/004;G03F7/38 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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