晶片清洗设备的清洗刷夹持装置

摘要

一种晶片清洗设备的清洗刷夹持装置，包含一第一、二夹持组，该第一夹持组包括一第一套筒、一设置在该第一套筒内的第一轴承单元，一可旋转的第一心轴，及一套设于该第一心轴上的第一导筒，该第一轴承单元具有一嵌设于该第一套筒内周面的第一塑料轴套。该第二夹持组包括一第二套筒、一设置于该第二套筒内的第二轴承单元、一可旋转的第二心轴，及一套设于该第二心轴上的第二导筒单元，该第二轴承单元具有一嵌设于该第二套筒内周面的第二塑料轴套，该第二塑料轴套具有一内套环部，及一自该内套环部向外延伸的外套环部，该第一、二塑料轴套可减少被酸气的清洗溶液侵蚀，而该第二塑料轴套之内、外套环部是一体成型，可避免相互磨损的问题。

主权项

1.一种晶片清洗设备的清洗刷夹持装置，用于夹持一呈长杆状的清洗刷，该清洗刷夹持装置包含一第一夹持组，及一第二夹持组，该第一夹持组包括一中空的第一套筒、一设置在该第一套筒内的第一轴承单元，一部分穿设于该第一轴承单元中并可相对该第一套筒旋转的第一心轴，及一套设于该第一心轴上并可分离地与该清洗刷的一端套接的第一导筒，该第二夹持组包括一中空的第二套筒、一设置于该第二套筒内的第二轴承单元、一部分穿设于该第二轴承单元中并可相对该第二套筒旋转的第二心轴，及一套设于该第二心轴上的第二导筒单元，其特征在于：该第一夹持组的第一轴承单元具有一嵌设于该第一套筒内周面的第一塑料轴套，及至少一贴设于该第一塑料轴套内周面上的第一轴承，该第二夹持组的第二轴承单元具有一嵌设于该第二套筒内周面的第二塑料轴套，及至少一设置在该第二塑料轴套内周面的第二轴承，该第二塑料轴套具有一供该第二轴承贴靠的内套环部，及一由该内套环部外侧一体成型地延伸至该第二套筒内周面的外套环部。