发明名称 将至少一个元件从初始载体到最终载体的选择传递方法
摘要 本发明涉及一种从一初始载体向一最终的载体选择传递薄片的方法,每个薄片包括至少一个元件,该元件由微电子和/或者光电子和/或者声音和/或者机械装置构成,这些元件在一初始载体表面层中实施,该方法包括如下步骤:a)将该传递载体固定在该初始载体的表面层上;b)除去初始载体的不对应该表面层的部分;c)通过沿该表面层的厚度进行切割,侧向限定这些薄片,使得这些可以被切断的区域受到该切割;d)保持待传递的一个或者多个薄片,在这些可以切断的相应的区域中通过施加能量使它们分开;e)将从步骤d)分离的一些薄片或者多个薄片转移并且固定到该最终载体上。
申请公布号 CN1322575C 申请公布日期 2007.06.20
申请号 CN02811208.3 申请日期 2002.04.02
申请人 法国原子能委员会 发明人 C·费格特;B·阿斯帕;V·布勒特
分类号 H01L21/78(2006.01);H01L21/304(2006.01);H01L21/68(2006.01);H05K13/04(2006.01);H01L21/58(2006.01) 主分类号 H01L21/78(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 苏娟;章社杲
主权项 1.选择地将薄片从一初始载体向一最终的载体传递的方法,每个薄片包括一微电子或光电子或声学的或机械的装置的至少一个构成元件,这些元件实施在该初始载体的一个表面层中,该方法包括如下步骤:a)将一传递载体固定在该初始载体的表面层上,b)去除不相当于该表面层的初始载体的部分,c)步骤b)之前或之后,在由传递载体和表面层构成的组件上,通过沿该表面层的厚度进行的垂直切割来侧向限定一些薄片,该切割至少在该表面层中进行以便使得所述的组件的一些可以断裂的区域继续存在,d)夹持一个或者多个待传递的薄片并且通过施加在所述组件的相应的能够断裂的区域中的能量使它们分离,其中能量的施加导致这些区域的断裂,e)传递并且固定在步骤d)中分离的该薄片或者多个薄片在该最终载体上。
地址 法国巴黎
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