| 发明名称 |
CMP COMPOSITION FOR IMPROVED OXIDE REMOVAL RATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1797151(A1) |
申请公布日期 |
2007.06.20 |
| 申请号 |
EP20050760474 |
申请日期 |
2005.06.10 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS |
发明人 |
CARTER, PHILLIP;VACASSY, ROBERT |
| 分类号 |
C09G1/02;H01L21/02;H01L21/3105 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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