| 发明名称 | 离子束传输控制系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种离子束传输控制系统，由离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置、计算机控制系统组成，离子束产生装置产生的离子束流I<SUB>0</SUB>传输给离子束分析装置，分析后再进入测束杯离子束检测装置，检测分析离子束流的大小；然后进入离子束调整装置对离子束流I<SUB>1</SUB>进行品质优化，最后进入靶室离子束检测装置，检测最终获得的束流I<SUB>2</SUB>的大小，计算机控制系统与离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置同时分别连接，对离子束流进行控制和参数调整。 | ||
| 申请公布号 | CN2913386Y | 申请公布日期 | 2007.06.20 |
| 申请号 | CN200620008186.6 | 申请日期 | 2006.03.17 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 王迪平;罗宏洋;郭健辉;田小海;文超 |
| 分类号 | C23C14/48(2006.01);C23C14/54(2006.01);H01J37/30(2006.01);H01L21/265(2006.01) | 主分类号 | C23C14/48(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曾永珠 |
| 主权项 | 1.离子束传输控制系统，由离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置、计算机控制系统组成，其特征在于计算机控制系统的一端与离子束产生装置、离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置、靶室离子束检测装置依次连接，靶室离子束检测装置又与计算机控制系统的另一端相连接，离子束分析装置、测束杯离子束检测装置、离子束调整装置又分别与计算机控制系统相连接。 | ||
| 地址 | 100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段 | ||