| 发明名称 | 掩模图案布置方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种掩模图案布置方法，此方法包括具有第一掩模图案的第一掩模，具有第二掩模图案的第二掩模，第一掩模图案和第一掩模的相对位置不同于第二掩模图案和第二掩模的相对位置。 | ||
| 申请公布号 | CN1983033A | 申请公布日期 | 2007.06.20 |
| 申请号 | CN200510131730.6 | 申请日期 | 2005.12.16 |
| 申请人 | 中华映管股份有限公司 | 发明人 | 梁雅闵;何建国 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G03F7/00(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种掩模图案布置方法，该方法提供一具有一第一掩模图案的第一掩模以及一具有一第二掩模图案的第二掩模，且该第一掩模图案和该第一掩模的相对位置不同于该第二掩模图案和该第二掩模的相对位置。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市 | ||