| 发明名称 | 532纳米波长的高衍射效率石英透射光栅 | ||
| 摘要 | 一种532纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，为高密度矩形深刻蚀石英光栅，该光栅的线密度为1700～1920线/毫米，光栅的深度为0.9～1.1微米，光栅的占空比为1/2，本发明对532纳米波长可以同时使TE、TM偏振方向的+1级布拉格透射衍射效率实现高于85％，特别是当光栅密度为1830线/毫米，光栅深度为1微米时，TE和TM偏振模式的效率均大于94％；当光栅密度为1870线/毫米，光栅深度为0.9微米时，TE偏振模式下+1级布拉格透射衍射效率有最大值97.99％。本发明石英透射光栅由微电子光刻工艺、深刻蚀工艺加工而成，低成本、可以大批量生产。 | ||
| 申请公布号 | CN1322339C | 申请公布日期 | 2007.06.20 |
| 申请号 | CN200510026557.3 | 申请日期 | 2005.06.08 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 周常河;张妍妍 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01) | 主分类号 | G02B5/18(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种532纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，是高密度矩形深刻蚀石英光栅，其特征在于该石英透射光栅的线密度为1700～1920线/毫米，光栅的深度为0.9～1.1微米，光栅的占空比为1/2。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||