发明名称 |
三维形状测量装置及方法 |
摘要 |
本发明提供三维形状测量装置及方法,其装置包括:XY台、投影部、光路变换器和成像部,所述投影部包括:第一、第二照明;多个投影透镜;光栅板,设置在第一、第二照明和多个投影透镜之间,形成有多个光栅;投影部移送装置,用来将光栅板朝向与第一、第二照明照射光垂直的方向移动,所述光路变换器包括:多个反射镜;第一、第二滤光器,分别设置在多个反射镜的下侧,对经过多个反射镜的光的特性进行调节并透射其光;第三照明,设置在第一、第二滤光器之间,将光照射至检查对象物,所述成像部包括:第三滤光器;成像透镜;成像摄影机。通过使用多个照明和滤光器交替地扫描测量对象物的一侧和另一侧,能够去除在测量三维形状时产生的影子区域。 |
申请公布号 |
CN1982841A |
申请公布日期 |
2007.06.20 |
申请号 |
CN200610167812.0 |
申请日期 |
2006.12.14 |
申请人 |
株式会社高永科技 |
发明人 |
高光一;成银莹;全文荣;金珉永;李承埈 |
分类号 |
G01B11/24(2006.01);G01B11/245(2006.01) |
主分类号 |
G01B11/24(2006.01) |
代理机构 |
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
余朦;方挺 |
主权项 |
1.一种三维形状测量装置,其特征在于,包括:XY台,其中安装有衬底部件,所述衬底部件形成有多个识别标志;投影部,包括:发光的第一、第二照明;多个投影透镜,设置在所述第一、第二照明一侧;光栅板,设置在所述第一、第二照明和所述多个投影透镜之间,形成有多个光栅;投影部移送装置,用来将所述光栅板朝向与从所述第一、第二照明产生的光的照射方向垂直的方向移动;光路变换器,包括:多个反射镜,设置在所述投影部的一侧,相互隔开一定的间隔;第一、第二滤光器,分别设置在所述多个反射镜的下侧,对经过多个反射镜的光的特性进行调节而进行光的透射;第三照明,设置在所述第一、第二滤光器之间,将光照射给检查对象物中;成像部,包括:第三滤光器;成像透镜,设置在所述第三滤光器的上侧,用来对经过所述第三滤光器的光进行成像;成像摄影机,设置在成像透镜的上侧,用来对透过所述成像透镜的图像进行摄影。 |
地址 |
韩国首尔 |