激光加工设备及运行控制这样一个激光加工设备的方法

摘要

本发明涉及激光加工设备，它具有激光加工头(1)，其中该激光加工头包括：壳体(2)；喷嘴(3)，该喷嘴具有一个带有用于激光束(5′)的射出口(15)的的贯穿通道(14)及一个加工气体通道(16)；及聚焦镜组(6)，该聚焦镜组使激光束(5′)穿过的贯穿通道(14)及射出口(15)聚焦在一个设置在壳体(2)之外的工作焦点上；该激光加工设备还具有：加工气体输送装置，传感器电极(3)，用于电容式地测量喷嘴(3)与工件(7)之间的距离，及与所述传感器电极(3)相连接的、用于电容式的距离调节的装置(25，34)。此外，本发明还涉及运行控制这样一个激光加工设备的方法。

主权项

1.激光加工设备，它具有-一个激光加工头(1)，用于借助激光束(5′)加工工件(7)，其中该激光加工头(1)包括：-一个壳体(2)，用于激光束(5′)的工作光路(5)穿过该壳体；-一个在激光束(5′)的射出区域中被设置在壳体(2)上的喷嘴(3)，该喷嘴具有一个带有用于激光束(5′)的射出口(15)的中央的贯穿通道(14)及一个加工气体通道(16)，该加工气体通道的排出口(17)与该贯穿通道(14)的射出口(15)同轴心；-以及一个聚焦镜组(6)，该聚焦镜组使激光束(5′)穿过中央的贯穿通道(14)及射出口(15)聚焦在一个设置在壳体(2)之外的工作焦点上；-该激光加工设备还具有：一个加工气体输送装置，用于将加工气体输送通过所述加工气体通道(16)到激光束(5′)与工件(7)之间的相互作用区域，-一个被保持在壳体(2)上的导电的传感器电极(3)，用于电容式地测量喷嘴(3)与工件(7)之间的距离，及-一个与所述传感器电极(3)相连接的、用于电容式的距离调节的装置(25，34)。