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发明名称
摘要
申请公布号 JP3932345(B2) 申请公布日期 2007.06.20
申请号 JP19990346876 申请日期 1999.12.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/28;H01L21/60;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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