发明名称 RAPIDLY ROTATING VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 EP1797335(A1) 申请公布日期 2007.06.20
申请号 EP20050794485 申请日期 2005.10.06
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 VOELKER, KARL-HEINRICH;BEYER, CHRISTIAN;GREVEN, ALOIS
分类号 F04D27/02;F04D29/66;F04D19/04 主分类号 F04D27/02
代理机构 代理人
主权项
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