| 发明名称 | 用于屏蔽带电粒子束的设备 | ||
| 摘要 | 用来屏蔽带电粒子束的设备。射束屏蔽单元(1)包括固定到支撑板(15)的第一和第二屏蔽板(2，3)。阻止器(4)与5第一屏蔽板(2)机械地连接和电连接。 | ||
| 申请公布号 | CN1985344A | 申请公布日期 | 2007.06.20 |
| 申请号 | CN200580017795.6 | 申请日期 | 2005.05.13 |
| 申请人 | 纳米束有限公司 | 发明人 | 张涛 |
| 分类号 | H01J37/04(2006.01);H01J37/147(2006.01);H01J37/09(2006.01);H01J37/15(2006.01) | 主分类号 | H01J37/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 谭祐祥 |
| 主权项 | 1.一种用来屏蔽带电粒子束的设备，包括：用于偏转带电粒子的电极；用于阻挡偏转的带电粒子束的装置；其中所述阻挡装置是由电极支撑的，以使其可随所述电极活动，并且与所述电极电连接以处于和所述电极极性相同的偏置。 | ||
| 地址 | 英国剑桥 | ||