表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置

摘要

提供一种表面状态检查方法以及使用该方法的表面状态检查装置和基板检查装置，在检查倾斜面的状态时，即使图像的亮度和色相变动，也可执行信赖度高的检查。在将红、绿、蓝的各色彩光从相互不同的仰角方向照射的状态下进行摄像，在使用获得的图像来检查焊料的圆角时，将R、G、B各色调的三维数据变换成一维的色相数据，利用该色相数据，按照红、绿、蓝的顺序来提取色相变化的方向。提取的方向表示圆角的斜率变化的方向，通过将该方向与预先登记的基准方向进行比较，判别圆角的倾斜面是否合适。

主权项

1.一种表面状态检查方法，相对于表面具有倾斜面的检查对象物，将发出相互不同的色彩光的多个光源配置排列成从所述检查对象物的配置位置来看仰角不同并进行照明，利用由设置在所述配置位置的上方的摄像部件获得的图像，检查所述检查对象物的表面状态，其特征在于，该方法执行以下步骤，第一步骤，设定包含所述图像中的检查对象物的检查区域，在该检查区域中，提取与各光源的配置排列对应的色相发生变化的方向；第二步骤，将第一步骤提取的方向与预先设定的基准方向进行比较；以及第三步骤，基于所述第二步骤的比较结果，判别所述检查对象物的表面状态的良否。