被处理体的搬送装置和具有搬送装置的处理系统

摘要

构成处理系统的一部分的主搬送装置具有间隔成真空环境的主搬送室(44)的壳体(40)。在壳体(40)上形成用于在搬送室(44)和外部之间移送被处理体(W)的多个移送口(52A、52B)。在搬送室(44)内水平设置的导轨(48)上，滑动自由地安装移动体(58)。具有沿着导轨(48)移动移动体(58)的线性马达机构(54、62)。保持被处理体(W)的保持体(64)通过支持部件(66)相对移动体(5 8)升降自由地连接。在与壳体(40)的移送口(52A、52B)对应的位置，设置相对移动体(58)升降支持部件(66)的升降机构(74)。

主权项

1.一种用于搬送被处理体的搬送装置，其特征在于，具有：壳体，其分隔成真空环境的搬送室，同时具有用于在所述搬送室和外部之间移送被处理体的移送口；导轨，在所述搬送室内水平地设置；移动部分，包括：在所述导轨上可移动地设置的移动体，和保持被处理体的保持体；水平驱动机构，沿着所述导轨移动所述移动部分的移动体；在所述移动部分上设置的、沿着所述移动部分的移动方向延伸的位置检测用的线性标度；在所述壳体的内面的与所述线性标度相对的高度所设置的、沿着所述移动部分的移动方向、以比所述线性标度的长度还短的间隔来配置的多个位置检测传感器，所述移动部分还包括：相对所述移动体升降自由地连接该保持体的支持部件；相对所述移动体升降所述支持部件的升降机构。