| 主权项 |
1.一种多模式原子力探针扫描系统，其特征在于：所述系统包括光学测量单元(100)、扫描探测单元(200)和伺服控制单元(300)三个部分，所述扫描探测单元(200)包括承载样品的受伺服控制单元(300)驱动的扫描台(24)、微调机构(23)、设在所述微调机构(23)之上的压电双晶片(22)，以及末端固定在压电双晶片(22)上、探测端对应样品设置的微悬臂探针(21)；所述微悬臂探针(21)背面处于所述光学测量单元(100)的光探针会聚点处，并与光探针轴线相垂直；所述压电双晶片(22)由伺服控制单元(300)控制，驱动微悬臂探针(21)以接触式、非接触式或轻敲式三种模式之一进行探测；所述微调机构(23)包括支承底座(401)、下端与支承底座(401)固定连接，上端与连接板(403)固定连接的倾斜支架(402)、分别从两侧连接支承底座(401)和连接板(403)的右倾斜调整螺丝(404)和左倾斜调整螺丝(405)、固定于连接板(403)上的俯仰支架(407)、连接俯仰支架(407)和连接板(403)的俯仰调整螺丝(408)，以及将楔块(410)、压电双晶片(22)和微悬臂探针(21)固定在俯仰支架(407)前端凹槽内的弹簧片(409)；倾斜支架(402)和俯仰支架(407)采用柔性铰链机构，实现微悬臂探针(21)倾斜度与俯仰度调整。 |
