| 发明名称 |
Wafer probe |
| 摘要 |
The present invention relates to a probe for testing of integrated circuits or other microelectronic devices.
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| 申请公布号 |
US7233160(B2) |
申请公布日期 |
2007.06.19 |
| 申请号 |
US20010997501 |
申请日期 |
2001.11.19 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
HAYDEN LEONARD;MARTIN JOHN;ANDREWS MIKE |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/26;G01R1/06;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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