PLASMA PROCESSING METHOD AND PLASMA PROCESSING APPARATUS,申请号KR20067009470-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA PROCESSING METHOD AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100729876(B1)	申请公布日期	2007.06.18
申请号	KR20067009470	申请日期	2006.05.16
申请人		发明人
分类号	C23C16/26;H01L21/205;C23C16/44;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/31	主分类号	C23C16/26
代理机构		代理人
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