于基板沈积装置中利用高频扼流圈的方法及装置

摘要

本发明提供了一种基板沈积装置。根据部分实施态样，该装置包括：连接到气体源的一气体管、一射频功率源和一基板处理室。气体管系适以将处理气体和洁净用电浆从气体源/远端电浆气体源运送到基板处理室，而射频功率源系适以将射频功率耦合至基板处理室。另外，一射频扼流圈系连接到射频功率源和气体源，其中射频扼流圈系适以减弱射频功率源和气体源之间的电压差，以防止在基板处理期间，于气体管中形成电浆。本发明还提供了许多其他实施态样。