光学测量系统

摘要

一种光学测量系统，用于待测物体之位移测量或振动测量，该系统包括：一向待测物体表面发射雷射光之光源；一光电敏感元件，该光电敏感元件包括一由感光单元阵列构成之光接收面，用于接收被待测物体表面反射之雷射光；及一扩束透镜组，其位于反射雷射光之行进路径上，且该扩束透镜组具有一与反射雷射光平行之光轴。本发明之光学测量系统测量精度高，且可测量较小之位移。