| 摘要 |
本发明之目的在于提供洗净构件、基板洗净装置及基板处理装置，该等构件或装置适于搭配由该洗净构件所排放之污染物之减量，防止受到洗净之基板内之反向污染及以稳定的方式保持对于该基板之高度洗净能力。本发明之目的为藉由基板洗净装置之洗净构件而完成，该基板洗净装置为藉由利用在欲洗净之基板之表面及与该基板之表面形成接触之洗净构件之间的相对运动以洗净欲洗净之基板表面，同时供给洗净液于该基板之表面，该洗净构件包括由防水材料所成之心部23b，其中该心部之表面为覆盖具有多孔隙聚合材料以定义被覆层23b。欲使用之该多孔隙聚合材料可以由聚乙烯醇聚合物、丙烯酸聚合物、其它加成聚合物、丙烯醯胺聚合物、聚氧伸乙基聚合物、聚醚聚合物、缩合聚合物、聚乙烯咯烷酮、聚苯乙烯磺酸、胺基甲酸酯树脂及聚胺基甲酸酯树脂所组成群组中选择。 |
