浸润式微影系统与其密封环的排列结构及使用方法

摘要

本发明系揭示浸润式(Immersion)微影系统之各种密封环的排列结构。藉由此些密封环的排列结构，浸润式微影系统可提供较佳之密封效果，以处理位于晶圆吸附器(Wafer Chuck)上之晶圆。