发明名称 | 废气处理系统 | ||
摘要 | 一种废气处理系统,包含一导引通道、一流体喷嘴与一集尘盒。导引通道系用以导引经燃烧之废气,流体喷嘴位于导引通道内,系用以喷洒流体使废气冷却,并使粉尘附着于流体。集尘盒与导引通道之下方出口垂直地相连通,以收集粉尘与流体。 | ||
申请公布号 | TW200723359 | 申请公布日期 | 2007.06.16 |
申请号 | TW094142821 | 申请日期 | 2005.12.05 |
申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 侯建州;陈正豪;胡永祥;陈冠字 |
分类号 | H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/02(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 蔡坤财 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 |