发明名称 废气处理系统
摘要 一种废气处理系统,包含一导引通道、一流体喷嘴与一集尘盒。导引通道系用以导引经燃烧之废气,流体喷嘴位于导引通道内,系用以喷洒流体使废气冷却,并使粉尘附着于流体。集尘盒与导引通道之下方出口垂直地相连通,以收集粉尘与流体。
申请公布号 TW200723359 申请公布日期 2007.06.16
申请号 TW094142821 申请日期 2005.12.05
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 侯建州;陈正豪;胡永祥;陈冠字
分类号 H01L21/02(2006.01) 主分类号 H01L21/02(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号