发明名称 负型光阻剂
摘要 本发明之负型光阻剂主要系由高分子树脂(Resin)、感光起始剂(Photo initiator)、单体(Monomer)、溶剂(Solvent)所组成;亦可配合加入颜料(Pigment)、添加剂(Additives),俾获致一种尤适合搭配刮刀式涂布法(Slit Coating)应用在玻璃基板涂布的负型光阻剂。
申请公布号 TW200722921 申请公布日期 2007.06.16
申请号 TW094144395 申请日期 2005.12.15
申请人 新应材股份有限公司 发明人 郭光埌;戴伟仁;温世豪
分类号 G03F7/038(2006.01) 主分类号 G03F7/038(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 桃园县龙潭乡高原村渴望路185号1楼