| 摘要 |
【课题】提供一种在从被载置于复数个引导销突出的工件处理装置之架台上的状态，利用垂设于支撑架的复数个真空吸盘对板状工件进行吸附保持并搬运之际，可在板状工件不勾住引导销的情况下确实且顺利地作吸附保持之吸附搬运装置及搬运方法。【解决手段】在支撑架15降下而利用真空吸盘16对挠性印刷基板(FPC)11进行吸附时，引导销14的前端系嵌入被垂设在支撑架15上的筒状磁石19，同时筒状磁石19的下面系与FPC11的上面抵接。在此时，筒状衬套18受筒状磁石19的磁性所吸引，FPC11会被挟持于筒状磁石19和筒状衬套18之间，FPC11系可在不发生挠曲之下由真空吸盘16确实地吸附。而若FPC11上昇至既定的高度的话，筒状衬套18之上昇受到限制而自FPC11的下面离开，筒状衬套18遂回复成原来的状态，同时FPC11之导引孔12系由引导销14顺利地溜出。 |
