| 摘要 |
本发明之课题是提供一种蒸镀用氧化物烧结体锭，其是在使用电子光束蒸镀法等之各种真空蒸镀法，以具备连续供给系统之蒸镀装置，制造低阻抗且光透过率大之氧化物透明导电膜之际，当进行蒸镀用氧化物烧结体锭之供给时，不会产生破损物质，而可防止真空槽内受到污染，藉由使破损物质堆积于连续供给系统之推起用杆轴或旋转台之旋转轴等机构零件，不会对圆滑的驱动带来阻碍之蒸镀用氧化物烧结体锭。用以解决课题之手段为，使用具备连续供给系统之蒸镀装置，以真空蒸镀法进行成膜时所使用之蒸镀用氧化物烧结体锭，其特征为：该蒸镀用氧化物烧结体锭，大致呈圆柱形状，底面与侧面所成之角部，呈剖面长度为0.7~5mm之C倒角形状、或直径为0.7~5mm之R倒角形状或该大致呈圆柱形状之侧面的十点平均粗糙度(Rz)为110μm以下。 |
