| 摘要 |
本发明的课题是在于提供，具备形成有冷却风路的光照射器，能够增大对被处理对象物之光照射量，可谋求处理效率提升，并且即使不大幅地增加冷却风的风量亦可获得充分的冷却功能之光照射装置；以及可理想地使用于此光照射装置之光源灯。用以解决之手段为：具备将剖面为圆形的棒状光源灯在其管轴与具有反射面的反射镜之第1焦点位置一致的状态下予以配设而构成之光照射器，当光源灯点灯时，藉由冷却风将光源灯及反射镜冷却之光照射装置，其特征为：对光照射方向，于光源灯的后方，形成有冷却风路，其是与受到反射镜所包围的空间连通，用来使冷却风流通，而在光源灯之与冷却风路开口相对向的外表面区域，形成有将由该光源灯所放射的光予以反射之反射膜。 |
