光罩图案配置方法

摘要

本发明系提供一种光罩图案配置方法，此方法包含有第一光罩具有第一光罩图案，第二光罩具有第二光罩图案，第一光罩图案和第一光罩之相对位置不同于第二光罩图案和第二光罩之相对位置。